特瑞堡密封系統是半導體產業聚合物技術的主要供應商。我們提供數十年的工程和應用經驗,以及為關鍵半導體應用設計高精度,客製密封解決方案。
隨著人工智慧(AI), 欧宝体育西甲瓦伦西亚5 g,機器學習和高性能計算,都有著巨大增長的趨勢。這促使半導體製造商的持續創新,加快上市時間,並同時降低總擁有成本,變得至關重要。
小型化將特徵尺寸縮小到難以想像的小,而架構也在不斷變得越來越複雜。這意味著晶片製造商越來越難以以可接受的成本實現高產量,而且它們也加劇了對生產設備中的密封件和複雜彈性體的需求(例如最先進的光刻系統)。
產品尺寸的縮小導致組件對抗污染條件嚴苛,因此潔淨度和純度比以往任何時候都更加重要。在極端溫度和壓力條件下使用的腐蝕性化學品和電漿,會造成惡劣的環境。因此,可靠的技術協助和材料,對於保持高產量至關重要。
在這些條件下,特瑞堡密封系統的高性能密封件獨特出眾,確保潔淨度,耐化學性並延長設備運行時間以實現最大產量。
特瑞堡密封系統的高純度Isolast®PureFab™全氟橡膠材料經過廣泛的開發和測試,可確保極低的金屬析出量和顆粒釋放。低電漿侵蝕率,高溫穩定性,出色的乾濕製程化學耐受性,以及出色的密封性將是密封件的關鍵特性,同時降低總擁有成本。為了確保產品的純度,所有Isolast®PureFab™密封件均在100级(ISO5)無塵室環境中生產和包裝。
我們擁有在地專家的協助,全球的影響力和專門的半導體專家。這三大支柱確保了從設計,打樣和出貨到批量生產的一流服務水平。我們的設計協助和數位化工具是提高性能的關鍵。
