会在极端的气体和液体处理情况下,变化的Turcon®Variseal®spring-energized海豹尤其适合半导体密封应用的要求最高,包括高真空和腐蚀性环境。
Turcon®Variseal®西北的Turcon®的这个法兰密封包括激励春,这样就不会有弹簧或弹簧腔和系统之间可能的联系的媒体。它是理想的半导体应用程序能够成功运行在真空和证明在氟气。
Turcon®Variseal®PS™这一高性能密封设计Turcon®聚四氟乙烯密封体和包括聚合物春天。使用系统媒体的压力,它恰恰是设计激励密封在低压力,同时保持高压密封完整性。的Turcon®Variseal®PS™超低浸出杂质按半标准f57 - 0301和最小的脱气,使其适合使用在半导体湿处理。
Turcon®Variseal®超净的™这个密封提供了最终的清洁,使其适合使用在加工设备维护一个干净的系统是首要任务。独特设计的Turcon®Variseal®超净的™,激活所需的弹簧密封完全封闭在一个Turcon®。这意味着金属可抽出的是完全排除在外,半导体制造的一个重要因素的微小污染会破坏晶片的有效性。