Isolast®PureFab™FFKM

Isolast®PureFab™系列在激进的前端工艺中提供了最佳性能，包括沉积，蚀刻，灰/带，等离子清洗和热处理，如原子层沉积。

该系列产品包括前沿的全氟弹性体(ffkm)，具有独特的性能，包括高温稳定性，高纯度，极低的痕量金属含量和出色的等离子体电阻。这减少了颗粒产生，在高真空条件下的超低除气性能，使最终用户能够延长产品维护周期，同时确保工艺产量最大化。

为了确保产品的纯度，所有Isolast®PureFab™密封件都在100级(ISO5)洁净室环境中生产和包装。

欧宝娱乐能赚钱吗特瑞堡密封解决方案提供独特而专注的材料组合，以匹配工艺化学、系统位置和工具复杂性:

• lsolast®PureFab™JPF10:
  • 全有机结构
  • 高纯度
  • 优异的抗氟氧自由基等离子体
  • 低颗粒产生
  • 高温稳定性超过+300°C
  • 优异的耐化学性，包括蒸汽和胺
  • 适用于干燥蚀刻、剥离和远程等离子清洗等工艺

• lsolast®PureFab™JPF20:
  • 先进的纳米颗粒填充系统提供最小的颗粒生成
  • 最大限度地抵抗侵略性离子和富含自由基的等离子体化学
  • 优异的高温稳定性，可耐受+320°C
  • 适用于所有蚀刻过程和关键工具位置，有极端等离子电阻的要求

• Isolast®PureFabTM JPF21:
  • 专有填料系统提供优良的抗氧等离子体和尺寸稳定性
  • NF中的最小颗粒_3.等离子体
  • 即使在超过+300°C的温度下，也能长期保持优越的密封力，延长密封寿命
  • 适用于蚀刻、沉积和扩散工艺

• Isolast®PureFab™JPF30:
  • 非填充，半透明极纯材料
  • 微量金属含量极低
  • 与竞争对手的半透明材料相比，即使在+300°C下，其热稳定性也无可比拟
  • 适用于灰分和带钢工艺以及要求低密封力的应用

Isolast®PureFab™系列中的其他材料:

• Isolast®PureFab™J9675:
• 全有机配方，弹性极佳
• 用于高级节点光刻应用的超低脱气性能
• 适用于除气性能非常关键的阻尼应用

• Isolast®PureFab™J9685:
  • 优异的耐热性
  • 极低压缩集
  • 可在高达325°C的高温热过程中操作
  • 适用于ALD，氧化/扩散等热工艺

• Isolast®PureFab™J9610:
  • 优异的耐化学性，适用于湿法应用
  • 在腐蚀性湿法化学制品中，可萃取物含量非常低
  • 适用于CMP, ECD和湿蚀刻应用

产品:

• o型环
• 定制设计的密封件，包括橡胶对金属和橡胶对塑料的粘合产品，如硅片处理产品
• FlexiMold™大直径无接头密封
• 定心环(NW, KF, ISO)

的Isolast®PureFabTM展览展示了这些材料最大限度地提高先进半导体工艺的系统正常运行时间。

广泛的FKM弹性体，以满足半导体需求

广泛的专有聚四氟乙烯基密封材料