“Fab Four”一流FFKM材料，适用于最关键的半导体密封应用

日期: 30.03.21
欧宝娱乐能赚钱吗Trelleborg密封解决方案推出了四种一流的Isolast®PureFab™系列材料，专为关键半导体密封应用而设计。对于OEM和晶圆厂来说，使用这些独特的全氟弹性体(FFKM)配方将提高产品产量并减少工艺缺陷。这将减少停机时间，延长产品维护周期，提供更长的工艺工具正常运行时间，从而降低总拥有成本。

具有优良的机械性能“Fab Four”半导体材料具有同类材料中最高的纯度，而不影响等离子体电阻、脱气或热稳定性。单独而言，这些材料在特定特性方面是一流的:

  • Isolast®PureFab™JPF10全有机配方用于远程等离子体电阻
  • Isolast®PureFab™JPF20整体等离子体电阻和最小的颗粒在恶劣的环境
  • Isolast®PureFab™JPF21长期热稳定性和低痕量金属污染
  • Isolast®PureFab™JPF30其市场领先的高温等级和半透明材料的极端纯度

注册参加网络研讨会

在4月27日，日本标准时间(JST)下午5点/欧洲中部夏令时(CEST)上午8点;4月28日，欧洲东部时间下午5点/太平洋夏令时(PDT)上午8点，欧宝娱乐能赚钱吗特瑞堡密封解决方案半导体专家将举办免费参加的网络研讨会Isolast®PureFabTM FFKM密封-最大限度地提高先进半导体工艺的系统正常运行时间。我们的专家将向与会者介绍这些新材料，并展示它们给半导体制造商带来的好处。

开发材料并证明性能


特瑞堡密封解决方案半导体材料开发经理Murat Gulcur博士说:“倾听客户的声音和技术欧宝娱乐能赚钱吗满足关键前端流程的需求，我们投入了大量的研发资源四种全新前沿的Isolast®FFKM材料。这些新化合物是市场领先的，完全符合当今行业的需求，更重要的是，符合未来的发展需求。

“选择在半导体应用中，正确的密封材料对于在延长密封寿命和污染机会之间实现最佳平衡尤为重要。小型化使这一点变得更加重要。目前最先进的技术节点只有5纳米，3纳米即将问世，纯度和清洁度是至关重要的。

“对材料性能的验证进行了反复24个月，涉及广泛的测试，包括最常见工艺气体的等离子侵蚀测试;以及长期的机械和纯度测试，包括微量金属分析和除气。

“有了这些测试结果和有竞争力的基准数据，特瑞堡工程师可以通过精确指定最多的数据来支持客户的开发团队欧宝娱乐能赚钱吗有效的密封材料，以匹配其苛刻的半导体环境的工艺化学、系统位置和工具复杂性。这种支持和技术数据极大地降低了客户在鉴定新材料时的风险。”

Isolast®PureFab™产品组合


Isolast®PureFab™JPF10采用独特的固化技术在不使用任何无机填料的情况下提高有机材料的等离子电阻。这使得它成为市场上性能最好的全有机材料之一，提供极低的微量金属含量，即使在高温下也能提供很长的使用寿命。

Gulcur继续说道:“在一些高度关键的半导体工艺中，对密封材料的要求可能更加严格。例如，当工艺节点低于10纳米，弹性体部件靠近晶圆时，可能需要一种特殊配方的无任何填料的超纯FFKM半透明材料来保持晶圆批量输出。”

为此，Isolast®PureFab™JPF30提供了无与伦比的高温性能和密封完整性相比之下半透明的市场上的材料。

Isolast®PureFab™JPF20包含一个高级纳米颗粒填料具有非常高的表面积，这意味着材料中的填料量明显低于竞争化合物，这提供了极限等离子体电阻，同时最大限度地减少粒子产生．


另一种全合成填料系统用于Isolast®PureFab™JPF21提供卓越的高温性能高达+320°C /+593°F暴露在含氟等离子体中的微粒最小由于它优秀的压缩集特性，该化合物适用于动态应用，包括粘结缝阀门。

半导体行业的问题解决

新的Isolast®PureFab™材料尤其适用于尖端半导体制造工艺的关键密封位置，特别是等离子体工艺，包括沉积、蚀刻、灰化和剥离，以及氧化、扩散、RTP、ALD和金属CVD等热工艺。
Trelleborg密封解决方案产品线总监兼半导体部门主管Chris Busby补充道:“这不仅仅是产品本身的问题。欧宝娱乐能赚钱吗欧宝娱乐能赚钱吗特瑞堡密封解决方案以其设计和工程专业知识而闻名，赢得了半导体行业“问题解决者”的声誉。全球发展得到了当地专家的支持，无论国际上的半导体原始设备制造商和晶圆厂需要什么。”

了解更多