欧宝娱乐能赚钱吗特瑞堡推出“Fab Four”一流FFKM材料，用于最关键的半导体密封应用

对于原始设备制造商和晶圆厂来说，使用这些独特的全氟弹性体(FFKM)配方将提高产品成品率并减少工艺缺陷。这将减少停机时间，延长产品维护周期，并实现更长的流程正常运行时间，从而降低总体拥有成本。

凭借优异的机械性能，所有“Fab Four”半导体材料都具有同类产品中最高的纯度，而不影响等离子体电阻、脱气或热稳定性。单独而言，这些材料在特定特性方面是同类中最好的:Isolast^®PureFab™JPF10用于远程等离子体电阻，全有机配方;Isolast^®PureFab™JPF20用于恶劣环境下的整体等离子体电阻和最小颗粒;Isolast^®PureFab™JPF21长期热稳定性和低痕量金属污染;和Isolast^®PureFab™JPF30具有市场领先的高温等级和半透明材料的超高纯度。

Trelleborg密封解决方案半导体材料开发经理Murat Gulcur博士表示:“倾听客户的声音，解决关键前端工艺的要求，我们欧宝娱乐能赚钱吗投入了大量的研发资源来开发四种新型前沿Isolast^®FFKM材料。这些新化合物是市场领先的，完全符合当今行业的需求，更重要的是，符合未来的发展需求。

“为半导体应用选择正确的密封材料对于在延长密封寿命和污染机会之间实现最佳平衡尤为重要。小型化使这一点变得更加重要。目前最先进的技术节点只有5纳米，3纳米即将问世，纯度和清洁度是至关重要的。

“在24个月的时间里，对材料的性能进行了广泛的测试，包括在最常见的工艺气体中进行等离子侵蚀测试;以及长期的机械和纯度测试，包括微量金属分析和除气。

“有了这些测试结果和有竞争力的基准数据，特瑞堡工程师可以通过精确指定最有效的密封材料来满足客户苛刻的半导体环境的工艺化学、系统位置和工具复欧宝娱乐能赚钱吗杂性，为客户的开发团队提供支持。这种支持和技术数据极大地降低了客户在鉴定新材料时的风险。”

Isolast^®PureFab™JPF10采用独特的固化技术，在不使用任何无机填料的情况下提高有机材料的等离子电阻。这使得它成为市场上性能最好的全有机材料之一，提供极低的微量金属含量，即使在高温下也能提供很长的使用寿命。

Gulcur继续说道:“在一些高度关键的半导体工艺中，对密封材料的要求可能更加严格。例如，当工艺节点低于10纳米，弹性体部件靠近晶圆时，可能需要一种特殊配方的无任何填料的超纯FFKM半透明材料来保持晶圆批量输出。”

为了这个目的，Isolast^®与市场上其他半透明材料相比，PureFab™JPF30具有无与伦比的高温性能和密封完整性。

Isolast^®PureFab™JPF20采用了先进的纳米颗粒填料，具有非常高的表面积，这意味着材料中的填料数量明显低于竞争化合物，这提供了最终的等离子体电阻，同时最大限度地减少颗粒生成。

Isolast使用另一种全合成填料系统^®PureFab™JPF21具有出色的高温性能，最高可达+320°C /+593°F，暴露于氟基等离子体时颗粒最小。由于其优异的压缩固化性能，该化合物适用于动态应用，包括粘结缝阀门。

新Isolast^®PureFab™材料特别适合于尖端半导体制造工艺的关键密封位置，特别是等离子体工艺，包括沉积，蚀刻，灰化和剥离，以及热工艺，如氧化，扩散，RTP, ALD和金属CVD。

Trelleborg密封解决方案产品线总监兼半导体部门主管Chris Busby补充道:“这不仅仅是产品本身的问题。欧宝娱乐能赚钱吗欧宝娱乐能赚钱吗特瑞堡密封解决方案以其设计和工程专业知识而闻名，赢得了半导体行业“问题解决者”的声誉。全球发展得到了当地专家的支持，无论国际上的半导体原始设备制造商和晶圆厂需要什么。”

2021年4月27日，特瑞堡专家将举办欧宝娱乐能赚钱吗关于Isolast®PureFabTM材料的网络研讨会。在现场活动结束后，网络研讨会的录音将在网站上提供。更多关于Isolast®PureFab™和网络研讨会的信息可以在这里找到在这里。

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