欧宝娱乐能赚钱吗Trelleborg为最关键的半导体密封应用推出其“Fab四”最佳FFKM材料

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欧宝娱乐能赚钱吗Trelleborg密封解决方案在Isolast®PureFab™系列中发射四种最佳材料,专为关键半导体密封应用而设计。

对于原始设备制造商和FAB,利用这些独特的全氟弹性体(FFKM)制剂将提高产品产量和降低工艺缺陷。这将减少停机时间,扩展产品维护周期,并实现更大的过程正常运行时间,导致总体拥有总成本较低。

具有优异的机械性能,所有的“Fab 4”半导体材料展示了它们种类的最高纯度,而不会影响等离子体电阻,除气或热稳定性。单独地,这些材料是特定特征的最佳级别:isolast®PureFab™JPF10用于远程等离子体耐受完全有机配方;isolast.®PureFab™JPF20用于整体浆液性抗性和恶劣环境中的最小颗粒;isolast.®PureFab™JPF21用于长期热稳定性和低痕量金属污染;和孤立者®PureFab™JPF30为其市场领先的高温额定值和半透明材料的极端纯度。

Trelleborg密封解决方案的半导体材料开发经理Murat Gulcur博士说:“听取客户的声音并解决关键前端流程的要求,我们欧宝娱乐能赚钱吗将重要的研发资源投入到四个新的尖端的开发中isolast.®FFKM材料。新化合物是市场领先的,完全符合行业的需求,更重要的是,明天的发展需求。

“选择用于半导体应用的正确密封材料在实现密封寿命和污染机会之间的最佳平衡方面尤为重要。这是通过小型化更为批判的。随着最先进的技术节点,当今小于5纳米(NM),地平线上3纳米,纯度和清洁度至关重要。

“证明材料的表现超过24个月涉及广泛的测试,包括最常见的过程气体中的血浆腐蚀试验;除了长期的机械和纯度试验,包括痕量金属分析和除气。

“配备这些测试结果和竞争力的基准数据,Trelleborg工程师可以通过精确地指定最有效的密封材料来支持客户的开发团队,以匹配其苛刻的半导欧宝娱乐能赚钱吗体环境的过程化学,系统位置和工具复杂性。这种支持和技术数据在合格新材料时显着降低了客户的风险。“

isolast.®PureFab™JPF10采用独特的固化技术,可改善有机材料的抗血浆抗性而不使用任何无机填料。这使得它成为市场上最好的,全面的有机材料之一,提供极低的痕量金属含量,即使在高温下也提供了长期的使用寿命。

Gulcur继续“在一些高度关键的半导体过程中,密封材料的要求可以更加严格。例如,当过程节点低于10nm并且弹性体部分紧密到晶片时,可能需要在没有任何填充物的特殊配方的超纯FFKM半透明材料以保持体积晶片输出。“

为此,isolast®与市场上的其他半透明材料相比,PureFab™JPF30提供无与伦比的温度性能和密封完整性。

isolast.®PureFab™JPF20含有高级纳米粒子填料,具有非常高的表面积,这意味着材料中的填料的量显着低于竞争性化合物,其提供最终的粒子抗性,同时最小化颗粒产生。

另一个完全合成的填充系统用于孤立性®PureFab™JPF21在暴露于氟基等离子体时,可提供高达+ 320°C / + + 593°F和最小颗粒的优异高温性能。由于其优异的压缩设定性能,该化合物适用于动态应用,包括粘合狭缝门。

新的isolast.®PureFab™材料特别适用于用于前缘半导体制造工艺的临界密封位置,特别是等离子体工艺,包括沉积,蚀刻,灰化和剥离,以及热过程,例如氧化,扩散,RTP,ALD和金属CVD。

Chris Busby,产品线总监和半导体段为Trelleborg密封解决方案提供,补充说:“这不仅仅是关于产品本身。欧宝娱乐能赚钱吗欧宝娱乐能赚钱吗Trelleborg密封解决方案是为其设计和工程专业知识而闻名,可作为“解决半导体”行业的“问题求解者”的声誉。全球发展是由当地专家支持支持,无论国际代理半导体原装设备制造商和工厂都需要它。“

2021年4月27日,Trellebo欧宝娱乐能赚钱吗rg专家将在Isolast®PureFabtm材料上举办一个网络研讨会。在现场活动之后,将在网站上提供网络研讨会的录制。有关Isolast®PureFab™和网络研讨会的更多信息这里


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